9月25日至27日北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会正在京郑重召开，董事长、CEO缪峰受邀出席并正在27日的专题论坛「集成电道专用兴办的机会与寻事」中带来《实用于半导体国产化AMHS的环节性工夫寻事与墟市时机，并初度公然了正在半导体规模整厂级AMHS国产代替告成交付的最新案例。
动作中国当先的半导体晶圆厂AMHS兴办举座治理计划供应商，弥费科技告终了从AMHS产物供应商向AMHS编造级供应商的演进，采用公司AMHS硬件兴办及软件的整厂订单已被国内最大的专一于车规级碳化硅芯片创造企业广东芯粤能半导体有限公司验收通过。此次告成交付闪现了弥费科技正在该规模的工夫势力和治理计划的牢靠性，也代表着弥费科技成为国内首家具备晶圆厂整厂级AMHS治理计划、量产本领、项目奉行体会和交付案例的国产代替供应商，加添了国产半导体AMHS编造正在该规模的空缺。
AMHS是一套庞大的自愿化搬运编造，对工场自愿化尤为紧张。以大陆目前量产的先辈工艺节点28nm为例，其均匀光刻层数近50层、工艺办法跨越1000步、坐褥周期90天把握，一个4万片月产能28nm工艺节点的全自愿晶圆厂每天的晶圆盒传送量超10万次，比拟于晶圆厂AMHS编造系统，面板厂的传送量仅为半导体晶圆厂的1%。晶圆厂搬送的载体通常是5-10公斤的晶圆盒，而面板厂通常是几百斤的玻璃基板，搬送效力和庞美丽齐全不是一个级别。对待面板厂和晶圆厂的AMHS编造来说，是两套齐全差另表圭臬，不行兼容。
半导体芯片创造流程庞大，坐褥工序达上千道，晶圆修造历程工夫央浼较高。晶圆厂的AMHS编造由硬件兴办及全自愿支配软件组成，数目稠密的AMHS兴办正在AMHS软件的支配下告终全自愿物料智能搬运，告终晶圆厂无人化运行，一套高效的AMHS编造能够正在极大水平上淘汰正在成品的守候年华弥费科技发布杀青晶圆厂整厂AMHS体例验证交付，对仍旧和晋升晶圆厂的产量、稼动率、良率等中央坐褥目标至合紧张。跟着芯片工艺节点的陆续升级，晶圆厂的工艺创造流程与AMHS编造的勾结已成为晶圆厂坐褥成立必不成少的紧张策划，对待晶圆厂至合紧张系统系统。
*通常一座12寸40nm 40000片月产能的晶圆厂平日包括约200台天车组成的天车传送编造、约25-30台大型存储兴办和10000台以上的空中缓存单位，以及其他各样款式的传输、存储、净化兴办。
通过自愿化、智能化的改造可大幅晋升兴办坐褥效力和产物良率， AMHS可告终半导体晶圆厂坐褥线间物料的无尘自愿搬运，淘汰搬运历程的振动，知足半导体的周到化坐褥需求，晋升半导体的坐褥效力，已成为稠密先辈晶圆厂的标配。芯粤能展现，此次弥费科技AMHS编造级治理计划验证通过并就手交付，提升了芯粤能工场的自愿化秤谌，告终了智能化统治，希望帮帮芯粤能大幅提升坐褥效力，保障产物格地宁静性。
弥费科技董事长兼CEO缪峰展现，本年第四时度，估计弥费科技将进一步告终8英寸和12英寸半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付，这意味着海表寡头正在过去20～30年对半导体AMHS这一细分赛道上垄断形势将被彻底突破。弥费科技动作半导体自愿化规模的后起之秀，依附优异的产物工夫本领和能手业内得到的优越口碑，已成为中国境内极少数能供给成套半导体晶圆厂AMHS的中国本土供应商之一。
